材料表征和性能测试过程中用到的测试技术和仪器设备众多，但每种表征方式对样品的要求都极高。氮化硅薄膜窗口作为样品杆的支撑载网，其重要性也不言而喻。

氮化硅薄膜窗口卓越的光学清晰度，使研究人员能够以高度的精度和细节观察材料。

两位教授在研究中采用了原位芯片（YW MEMS (Suzhou) Co., Ltd）自主研发生产的氮化硅薄膜作为载体，在平整洁净的氮化硅薄膜上采用磁控溅射的方式，在上面进行Pd图案化镀膜，发现采用PES预沉积法制备的PdSe2薄膜的应变系数优于多晶硅薄膜。经研究后发现PdSe2薄膜优异的压阻性能、压敏性以及CMOS工艺合成方法为MEMS传感器的集成提供了许多潜力。

大的应力会引起圆片较大的形变，造成芯片成品率低等问题，对圆片的工艺流片产生不利的影响。

在生物科学研究方面，透射电镜可用来观察细胞整体结构、细胞亚细胞结构等

研究人员在选择氮化硅薄膜窗口时，可以从以下8个维度参考，包括外框尺寸、薄膜厚度、窗口数量、窗口尺寸、应力情况、洁净度、平整度、涂层。