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氮化硅薄膜窗口是一种用量不大但又非常重要的实验室电镜耗材。国内有称之为:氮化硅膜、电镜载网等。氮化硅膜是指硅氮化合物的薄膜,常用作微电子技术电绝缘层。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成,多余的硅原子在其中排列成六方结构。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成,多余的硅原子在其中排列成六方结构。通过技术手段,制作成氮化硅薄膜窗口。而国内实验室早期使用的氮化硅薄膜窗口都是从国外进口,因为国内没有竞品,所以质量上
氮化硅薄膜窗口
氮化硅薄膜窗口
氮化硅薄膜窗口
氮化硅薄膜窗口
Yongcai Qiu, Genlan Rong, Jie Yang , Guizhu Li, Shuo Ma, Xinliang Wang, Zhenghui Pan, Yuan Hou, Meinan Liu...Advanced Energy Materials Volume 5, Issue 23