氮化硅(Si₃N₄)是一种极具应用潜力的材料,广泛应用于半导体、光学、MEMS(微机电系统)以及高温、高频等领域。作为一种重要的无机陶瓷材料,氮化硅薄膜具有优异的机械强度、化学稳定性以及耐高温性能,因此在众多高精度、高性能的设备中都有着不可替代的作用。本文将详细介绍氮化硅薄膜的制造工艺,带你从原材料到成品,了解每一个制造环节的关键技术和注意事项。
成像清晰
百级洁净环境制备
100%检验
超强支撑
压力耐受(PSI):60
应力<250Mpa
表面粗糙度: <0.3nm
厚度一致性: <5 %
成熟工艺
逐片检验
质量保证
氮化硅(Si₃N₄)是一种极具应用潜力的材料,广泛应用于半导体、光学、MEMS(微机电系统)以及高温、高频等领域。作为一种重要的无机陶瓷材料,氮化硅薄膜具有优异的机械强度、化学稳定性以及耐高温性能,因此在众多高精度、高性能的设备中都有着不可替代的作用。本文将详细介绍氮化硅薄膜的制造工艺,带你从原材料到成品,了解每一个制造环节的关键技术和注意事项。
X-ray窗格(X-ray Windows)是用于X射线分析系统中的一类特殊薄膜材料,主要作用是允许X射线穿透并与样品发生相互作用,同时隔离真空环境与样品之间的气氛。X射线窗格通常用于X射线光谱学、X射线成像、X射线衍射(XRD)等应用中,常见的材料包括氮化硅(Si₃N₄)、铍、铝、碳纳米管等。
TEM窗格(透射电子显微镜窗格)是用于透射电子显微镜(TEM)中的一种薄膜材料,通常用来支持样品并使得电子束能够穿透样品。TEM窗格的主要功能是作为样品的支撑膜,同时允许电子束通过以进行成像和分析。窗格通常由非常薄且具有高透过性的材料制成,常见的材料包括氮化硅(Si₃N₄)、石墨烯、石英等。