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纳米孔氮化硅膜
案例展示
基于铝光栅耦合氮化硅薄膜波导的颜色 滤波器及制备方法
发布时间:2021-03-05 08:50:26
徐挺 王嘉星 梁瑜章
发明专利 丨 申请号201710101902.8
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